Aisladores cerámicos fresados ​​de 5 ejes para equipos semiconductores y salas blancas

En el exigente mundo de la fabricación de semiconductores y los entornos de salas blancas, cada componente debe ofrecer un rendimiento impecable.Prueba de función pulmonarNos especializamos en la elaboraciónAisladores cerámicos fresados ​​de 5 ejesque redefinen la precisión y la confiabilidad. Con más de 20Con años de experiencia, nuestras soluciones están diseñadas para satisfacer las exigentes demandas de los equipos semiconductores, garantizando estabilidad térmica, aislamiento eléctrico y funcionamiento sin contaminación en entornos ultrasensibles.

¿Por qué elegir nuestros aisladores cerámicos fresados ​​de 5 ejes?

1.Capacidades de fabricación avanzadas

Nuestras instalaciones están equipadas conFresadoras CNC de 5 ejes de última generaciónEsto permite una precisión micrométrica en el conformado de cerámicas avanzadas como la alúmina (Al₂O₃), el carburo de silicio (SiC) y el nitruro de aluminio (AlN). A diferencia de los métodos convencionales, el mecanizado de 5 ejes permite geometrías complejas, cruciales para componentes como pasadores de elevación de obleas, piezas de cámaras de deposición y aislantes resistentes al plasma.

Características principales:

•Precisión:Tolerancia de ±0,005 mm para una integración perfecta en herramientas de litografía ASML o sistemas de grabado Lam Research.
•Versatilidad del material:Optimizado para alúmina al 99,8 %, SiC de alta pureza y otras cerámicas avanzadas.
•Acabado de la superficie:Ra <0,2 μm para minimizar la generación de partículas en salas limpias ISO Clase 1.

2.Ingeniería de procesos patentada

Nuestros ingenieros han desarrolladocontroles de procesos de circuito cerradoQue se adaptan a la fragilidad de la cerámica durante el mecanizado. Al combinar técnicas de fresado en seco con amortiguación de vibraciones en tiempo real, logramos superficies sin grietas y una mayor vida útil de los componentes, incluso bajo ciclos térmicos extremos (hasta 1600 °C).

Foco de innovación:

•Protocolos para aliviar el estrés:Minimizar las microfracturas en aisladores de AlN para aplicaciones CVD.
•Tratamientos post-mecanizado:HIP (prensado isostático en caliente) mejora la densidad y la resistencia a la corrosión.

3.Garantía de calidad rigurosa

Todo aislante sufreInspección de 12 etapas, incluido:

•CMM (Máquina de medición por coordenadas)Validación de dimensiones críticas.
•Prueba de fugas de heliopara compatibilidad con vacío.
•EDS (espectroscopia de rayos X por dispersión de energía)para verificar la pureza del material.

NuestroSistema certificado según ISO 9001/14001garantiza la trazabilidad desde la adquisición de materia prima (obtenida de proveedores de nivel 1 como CoorsTek) hasta el envasado final.

Aplicaciones: Donde la precisión se une al rendimiento

Nuestros aisladores cuentan con la confianza de:

•Herramientas de grabado y deposición:Componentes recubiertos de SiC para resistencia al plasma en módulos Applied Materials™.
•Implantadores de iones:Pasadores de elevación de alúmina con recubrimientos antiestáticos para evitar el deslizamiento de las obleas.
•Sistemas de metrología:Aisladores de baja expansión térmica para etapas de litografía EUV.

Estudio de caso:Un fabricante líder de equipos originales (OEM) de semiconductores redujo el tiempo de inactividad de sus herramientas en un 40 % después de cambiar a nuestros cabezales de ducha de SiC diseñados a medida, que superaron a las piezas de la competencia en el procesamiento de obleas de 300 mm.

Más allá de la fabricación: un enfoque de colaboración

•Prototipado rápido:Envíe sus archivos CAD y reciba prototipos funcionales en 7 días.
•Embalaje en sala limpia in situ:Conjunto de sala limpia clase 10 opcional para integración directa de herramientas.
•Soporte técnico de por vida:Nuestros ingenieros brindan análisis de desgaste y servicios de remecanizado para extender los ciclos de vida de los componentes.